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薄膜压力传感器的重要制作工艺有什么?
作者:www.wiitransfer.com 来:依照站 时间:2019/6/14 10:50:14
压力传感器作为一种智能型产品,在多世界都可以使用,那么传感器怎么做?在拍卖细节时永利皇宫平台官方入口应该注意什么?今日即薄膜压力传感器的制造步骤进行详细的介绍。

突出溅射薄膜压力传感器的重要工艺流程如下图所示。其中,压力传感器是合成橡胶制造、擂抛光、涂层、离子束蚀刻等四只重要工序。

弹性体的计划和制作:依靠弹性钢杯的结构设计和加工,热处理以排除应力。在当时同环节中,规定了弹性体薄膜的中心参数,多控制了溅射薄膜压力传感器的输入输出关系。

擂和抛光:合格的弹性体钢杯被磨,抛光以满足抛光要求,下一场进一步细化。


涂层:交替蚀刻。使用离子束溅射沉积法在金属弹性体表面制备了同种粘附力强、膜均匀、仔细、性能稳定的大多层膜。

蚀刻:半导体光刻和蚀刻,或者离子束蚀刻工艺,以电阻膜蚀刻到大斯通电桥的电阻条图案中;以铅膜蚀刻到铅电极中。

桥微调:使用薄膜电阻补偿惠特斯通电桥臂电阻,连以传感器输出调整到设计范围(好零)。

焊接:使用激光焊接或电子束焊接技术,以合格的芯片、支架和壳体用试压口焊接到底座上。压力接头的焊接压力敏感元件是一个要的过程。使用大功率激光焊机或电子束焊机,焊接深度可达2.2mm。大量的焊接工艺试验表明,通过增选不同的焊接工艺参数,可以有效地消除焊接应力对传感器的不利影响。

铅内包装:焊接芯片引线通过金丝球焊或压力焊接工艺,从薄膜抗应变电极连接到托架上。

稳定处理:针对传感器进行各种条件试验,一再测量其出口,连对那稳定性进行检测。

数字校正:稳定后,根据预先设计的参数对传感器进行温度灵敏度和非线性等零上。

全部封装:表面处理,如果喷涂补偿传感器芯片,因为防止薄膜和电路的传感器芯片不被环境影响。

老化、考试:进行高低温、电应力老化试验和各种可靠性环境试验,如果振动、撞、疲劳、湿热、暖真空等。